Công dụng chủ yếu:

Bộ nguồn kích thích đa dạng sóng dòng MS chọn nhiều đầu ra dạng sóng điện áp. Bằng cách điều khiển cuộn dây từ trường ngoại vi của mục tiêu đa hồ quang, một từ trường biến thiên tuần hoàn được tạo ra, do đó sự phát sáng đa hồ quang được thay đổi từ phóng điện tập trung ban đầu thành phóng điện đồng đều và chất lượng của màng phôi được cải thiện.

Đặc điểm chủ yếu:

1. Có thể chọn ba loại dạng sóng, sóng tam giác, sóng hình chữ nhật và sóng hình sin, đồng thời các giá trị cao nhất và thấp nhất của dạng sóng có thể được đặt độc lập.
2. Phạm vi điện áp đầu ra -40V- + 40V
3. Phạm vi tần số sóng: 0,1-50Hz
4. Chu kỳ nhiệm vụ sóng hình tam giác, sóng hình chữ nhật 10% -90%
5. Điều khiển thủ công tùy chọn/ Điều khiển giao diện mô-đun, Giao diện truyền thông RS485 tùy chọn.

Lựa chọn thông số